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3 安装前，应认真核查消防、安全产品制造单位的资质、制造许可证的真实性，并应符合相关规定，同时应做好检查记录;
8.2 管线 洁净厂房中的消防给水管道应安装在技术夹层内，接至洁净室(区)的立管位置应符合工程设计文件要求或与工艺设备布置、土建构造协调后确定。其外露部分应以装饰板包裹，表面应平整、光滑。
8.2.3 穿越洁净室(区)的墙体、顶棚的消防给水管、自动喷水系统的喷头短管等处，应以防火填料进行密封处理。
4 安装前，应对所有设备、材料进行现场检查、检验，均应符合工程设计文件和合约的要求，并应进行记录。
8.2.5 消防、安全设施的各类火灾报警装置、气体报警装置、广播通信设施及其控制系统的电气线路的施工安装应符合下列规定：
1 试验、试运转应在洁净室(区)内各专业施工安装完成，并应已进行彻底的清洁、空吹达到规定的要求后进行;
3 所需的各种材料、线缆、配电盘(柜)、灯具、开关等应已检验合格，并应有相应的产品出厂合格证明和检验记录等，型号、规格和性能等均应符合工程设计的要求。
9.1.2 洁净室(区)内的电气装置和线管、线槽、桥架等宜采用暗装，并宜以装饰板进行防护，其外表面应平整、光滑，并应不产尘、积尘，易清洁。
1 应提交变更设计的证明文件，安装过程记录，隐蔽工程记录，测试记录，设备及照明的试运行记录和设备、材料的合格证明及进场检验记录等的资料、文件;
9.2.2 电线管、电缆管、线槽、桥架的接地装置的施工及验收应符合现行国家标准《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB 50169的有关规定。
9.2.3 电气线路的线管、线槽、桥架穿越洁净室(区)的墙体、顶棚时，应采用气密构造，其接缝均应进行密封处理。
9.2.4 安装在洁净室(区)装饰板内的电线、电缆宜采用穿管敷设，穿越装饰板处应进行密封处理。
9.2.6 电气配线采用三相五线制或单相三线制时，其绝缘导线的绝缘层颜色应采用不同颜色进行区分，不得采用相同颜色的绝缘层。
9.2.7 洁净室(区)内的配电盘(柜)、接线盒的配线施工安装时，应留有满足再次接线、调线的余量。
9.3.2 电气设备的安装还应符合现行国家标准《建筑电气工程施工质量验收规范》GB 50303的有关规定。
9.3.3 洁净室(区)内配电盘(柜)、接线盒、插座箱和照明灯具等电气设备，内、外表面应平整、光滑、不积尘、易清洁，安装后应进行擦拭，并应无积尘。
9.3.7 洁净室(区)内的配电盘(柜)内的配线应做到横平竖直、色别正确、标志齐全、连接可靠。
9.3.8 洁净室(区)内的接线盒、插座箱的安装应端正，并应符合设计要求，设计无要求时，安装高度宜为1.0m～1.2m。
9.4.3 接地设施的安装还应符合现行国家标准《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB 50169的有关规定。
1 在洁净室(区)内明敷的接地线与建筑墙体、顶棚之间的间隙宜为10mm～15mm，与地面之间的距离宜为250mm～300mm;
10.1.1 微振控制设施应与洁净厂房主体结构、动力公用工程、净化空调系统、排风系统等相关设施同步施工安装。
10.1.2 微振控制设施的施工应根据具体工程项目特点，并按微振控制设施的设计、测试和建造程序进行。
10.2.3 隔振装置施工安装时，应核对空气弹簧隔振器、阻尼器、限位器、高度调节器，以及配管、底座的规格、数量、尺寸，并应符合设计要求。
10.2.4 安装隔振器的地面、台板等应平整、清洁;各组(个)隔振器承受荷载的压缩量应均匀，高度误差应小于2.0mm。
10.2.6 隔振台的台板表面应平整、清洁，台板水平度误差应符合设计要求，且不宜大于3‰。
10.2.7 隔振所用的支、吊架，其结构形式、尺寸应符合设计文件的要求，焊接应牢固，焊缝应饱满、均匀。
10.2.8 地板或楼板整体式隔振系统，支承结构、地板或楼板应平整、清洁，水平度误差应符合设计要求。
2 各种设备及其附件、材料均应已进行现场检查、检验，且应符合工程设计文件或合约要求，并应进行记录。
11.2.1 消声器、隔声罩等噪声控制设备安装前，应按工程设计文件和产品说明书的规定，检查其完整性、严密性、规格尺寸等，并应做好记录。
1 安装位置、方向应正确，与风管或配管的连接应严密，不得有损坏与受潮;两组同类型的消声器不应直接串联;
2 现场安装的组合式消声器，其组件的排列、方向和位置应符合设计要求，单个消声器组件应可靠固定，消声器应设独立支吊架。
12.1.1 本章适用于洁净厂房内的高纯气体供应设施、纯水供应设施、工艺生产用水设施、化学品供应设施的安装施工质量验收。
3 各种设备及其附件、材料应已进行现场检查、检验，并应符合工程设计和设备技术要求，同时应做好进场记录。
12.1.3 对气密性、渗漏性控制严格的特种设施的设备、附件等，安装前应检查密封状况，发现异常时，应与供货商共同检查，并应经确认不影响使用功能后再进行安装。
12.1.4 特种设施的承压设备、附件应具有压力试验、无损探伤等有效检验合格文件。无合格文件者，不得进行安装。
12.1.5 有爆炸危险或有毒的气体、液体、有机溶剂等相关的设备、附件应具有有效检验的合格文件，不符合规定者不得进行安装。
12.2.1 高纯气体、特种气体管道及其阀门、附件等的材质应符合工程设计文件的要求。采用低碳不锈钢管时，其安装施工应符合本规范第7.4节的规定。
12.2.3 高纯气体、特种气体供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书的要求，检查设备及填充的纯化材料、阀门和管件的完整性、密封性，并应做检查记录。
2 整体设备搬运时，应按设备的构造、管道及阀门等附件的配置状况安全运输，不得倒置，并应可靠固定;
3 设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，做好接管、接线 就位后，水、电接口应按工程设计文件要求连接;
2 安装位置应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并应检查接管、接线 气体管道接口应在所在系统试运转合格后再连接。
3 测试气体的检测取样口或排气接口，应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量最严格且距离最长的用气设备处。
4 纯度测试过程，取样时间的间隔宜为4h;气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析。
1 高纯气体、特种气体供应设施的强度试验、气密性试验和泄漏量试验及试验压力均应按工程设计文件要求执行。
2 试验气体宜采用无油干燥压缩空气或纯氮气或纯氦气;试验气体压力按规定逐步升至系统强度试验压力后，应保持10min，然后降压至气密性试验压力，检查接口、焊缝，应以不漏为合格。
3 气密性试验合格后，进行泄漏量试验，试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时，系统应以设计压力保持24h，检查泄漏率不超过0.5%为合格。采用氦气为试验气体时，系统应以设计压力保持1h，检查泄漏率不应超过0.5%为合格。不合格时，应检查原因并进行完善后，再进行泄漏量试验，直至合格为止。
2 管路系统应采用0.3MPa～0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0.3μm的气体过滤器去除微粒;对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫。
3 在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，应以靶上未见微粒为合格;对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体中含氧量小于1%为合格。
12.3.1 纯水供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书的要求检查、核对设备及填充的材料、阀门和管件的完整性、密封性，并应做好检查、核对记录。
2 应根据使用特点和工程设计文件要求选择管路材质、阀门、附件，并不得对水质产生污染和引起腐蚀或损伤;
3 系统安装完成后，应按规定进行试验、试运转，合格后按使用要求进行清洗或消毒灭菌，达到规定指标后，宜循环待用。
1 管道系统的试验应按工程设计文件要求进行水压试验，其试验方法应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定;
5 纯水水质试验，应以本系统同样水质的纯水进行试验，水质分析采样口应为水质要求最严格且距离最长的用户末端处：取样时间间隔应为2h～4h，应以系统的始端、末端的水质相同为合格。
2 清洗时，应关断所有接至单体设备的阀门，管道系统的过滤器滤芯应卸下，并应待清洗合格后原样恢复。
12.4.1 本节适用于洁净厂房中工业产品生产所需的酸、碱、有机物质等化学品供应设备、输送管路系统的安装施工质量验收。
12.4.2 化学品供应设施安装前，应按设计文件和产品说明书的要求检查设备、容器、阀门和附件的完整性和密封性等，并应做检查记录。
12.4.3 化学品供应设施中的各类泵的安装施工，应符合现行国家标准《风机、压缩机、泵安装工程施工及验收规范》GB 50275的有关规定。
2 就位安装应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并应检查接管、接线 各种管道的连接应在所在系统吹扫或清洗合格后进行。
3 就位前，应检查基础平整度、高度，基础表面的水平度不应大于2%，标高偏差不应大于2mm;
12.4.7 化学品供应设施的低碳不锈钢管、PE管、PVDF管等的管道系统安装施工应符合本规范第7章的有关规定。
2 吹扫或清洗宜采用干燥压缩空气或纯氮或清洁水，吹扫介质压力应为0.2MPa～0.3MPa，吹扫管道应设置过滤精度严于0.3μm的过滤器。
3 吹扫清洗时，应关断所有接至各类容器的阀门;管道系统的过滤器滤芯，流量计应卸下，并应待吹扫后按原样恢复。
4 各系统的吹扫应反复多次进行，吹扫时间不宜少于2.0h，并应以湿的白色滤纸或白布或涂有白色漆的靶板放在吹扫气排出口，经5min后检查微粒状况。不合格时，应继续吹扫，直至合格。
1 管道系统的试验应按工程设计文件要求进行强度试验、气密性试验，金属管道的试验方法可按现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定执行。
3 承压管道应进行强度和严密性试验，强度试验的试验压力应为设计压力的1.5倍，严密性试验的试验压力应为设计压力的1.15倍。非承压管道应进行满水试验。
13.1.1 本章适用于与洁净厂房施工验收相关的生产工艺设备安装和验收，但不应包括生产工艺设备自身的施工安装和验收要求。
13.1.2 洁净厂房中生产工艺设备除大型设备外，宜在洁净室(区)空态验收合格后进行安装。
13.1.3 设备的搬运、安装过程不得有超范围的振动、倾斜，不得划伤及污染设备表面，设备搬入洁净室(区)前应清洁、无尘。
1 安装生产工艺设备前，洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h，照明系统应已正常工。