洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于4.9Pa,洁净区与室外的静压差,应不于9.8Pa.。此外,还有对于风量,风速等的技术要求。总之,洁净间的各项指标都非常严格,因此,对其进行精确的控制就成为必须。
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